氦分光儀泄漏（，英語：Securious security）是一種氣體工業術語，使用氦或氫作為泄漏氣體和氣體分析器，檢測出氦是否泄漏。密封測試儀又叫包裝檢漏儀，是生產、加工企業專門用來檢測食品、乳制品以及制藥行業的包裝袋、瓶子、罐子等容器密封性的儀器，從而保證產品不會因為包裝泄漏而產生質量問題（有些泄漏點是肉眼看不到的），延長產品的貨架期。主要用于適用于食品、制藥、醫療器械等行業的包裝袋、瓶、管、罐、盒等的密封試驗。亦可進行包裝件封口質量分析。軟袋密封測試儀氣密測漏儀儀器配合工裝夾具（甲方提供）使用，人工（或自動）放工件置定位工裝上，設備按鍵啟動，氣密檢測儀充壓檢測（中間過程可以根據要求設置保壓時間0-999s），判定工件合格與否，將信號給儀器處理系統并確定是否報警。氦的背景噪聲低，分子量和黏度系數小，因此容易通過漏孔，容易擴散。此外，氦氣是一種不腐蝕設備的惰性氣體，因此氦氣常被用作泄漏氣體。氣體被噴灑到與氣體分析儀連接的被檢查容器上（僅根據氦氣反應的工作狀態調整）。如果容器有一個泄漏孔，分析器就會反應，知道泄漏孔的位置和泄漏量。尺寸。
1氦質譜儀檢漏真空系統。
由氦真空系統的一部分泄漏分子泵，機械前級泵。
在常規試驗中，被試件通常由前機械泵預抽真空。當真空度達到一定壓力時，進入真空系統。試驗前，要求被試件進行清潔預處理，防止灰塵、顆粒物等污染物進入真空系統。否則會直接污染真空系統，甚至損壞真空泵。因此，對被試件進行清洗前的管理和設備的定期維護清洗顯得尤為重要。
2設備自身保養小知識
(1)定期更換機油，并對前真空泵進行深度維護;
(2)超聲波清洗電磁閥組；
（3）質譜組件超聲波清洗及分子泵定期維護。
